Aotelega o le Photoresist
O le Photoresist, e ta'ua fo'i o le photoresist, e faasino i se mea manifinifi e suia lona solubility pe a fa'aalia i le malamalama UV, ave eletise, ave ion, ave-X, po'o isi fa'asalalauga.
O lo'o faia i se resin, se photoinitiator, se solvent, se monomer, ma isi mea fa'aopoopo (tagai i le Laulau 1). O le resin photoresist ma le photoinitiator o vaega sili ona taua ia e a'afia ai le fa'atinoga o le photoresist. E fa'aaogaina o se ufiufi e tete'e atu ai i le 'ele'ele i le taimi o le fa'agasologa o le photolithography.
Pe a fa'agasoloina ni mea semiconductor, o le fa'aaogaina o se photoresist e filifilia lelei e mafai ona fatuina ai le ata mana'omia i luga o le mea.
Laulau 1.
| Mea e Fa'aaoga mo le Photoresist | Fa'atinoga |
| Vaila'au fa'a'ele'ele | E fa'asuavaia ma fa'apupulaina ai le photoresist, ma e toetoe lava a leai se aafiaga i meatotino fa'akemikolo o le photoresist. |
| Fa'aola Ata | E ta'ua fo'i o le photosensitizer po'o le photocuring agent, o le vaega photosensitive i mea photoresist. O se ituaiga o mea e mafai ona pala i ni free radicals po'o ni cations ma amata ai ni tali fa'afeso'ota'i vaila'au i totonu o monomers pe a uma ona mitiia le ultraviolet po'o le malosiaga o le malamalama vaaia o se galu fa'apitoa. |
| Resin | O se polymers e le gaoioi, ma e galue o ni mea e fusifusia ai mea eseese i totonu o se photoresist, ma avatu ai i le photoresist ona uiga fa'amekanika ma fa'akemikolo. |
| Monomer | E ta'ua fo'i o ni mea fa'avaivai malosi, o ni molela'au laiti o lo'o i ai ni vaega fa'atino e mafai ona fa'apipi'i i le polymer ma o ni mea fa'apitoa e maualalo le mamafa o le molela'au e mafai ona auai i tali atu o le polymerization e fausia ai ni resins e maualuga le mamafa o le molela'au. |
| Fa'aopoopoga | E faʻaaogaina e pulea ai meatotino faʻakemikolo patino o photoresists. |
E vaevaeina ata fa'a-photoresist i ni vaega tetele se lua e fa'atatau i le ata latou te faia: lelei ma le leaga. I le taimi o le fa'agasologa o le ata fa'a-photoresist, a mae'a ona fa'aalia ma atiina ae, o vaega o lo'o fa'aalia o le ufiufi e fa'ata'ape'apeina, ma tu'ua ai vaega e le'i fa'aalia. O lenei ufiufi e ta'ua o se ata fa'a-photoresist lelei. Afai e tumau pea vaega o lo'o fa'aalia ae o vaega e le'i fa'aalia ua fa'ata'ape'apeina, o le ufiufi e ta'ua o se ata fa'a-photoresist leaga. E fa'atatau i le puna o le malamalama ma le puna o le fa'aalia, o ata fa'a-photoresist e fa'avasegaina atili o ni UV (e aofia ai ata fa'a-UV lelei ma leaga), ata fa'a-UV loloto (DUV), ata fa'a-X-ray, ata fa'a-electron beam, ma ata fa'a-ion beam.
E fa'aaogā tele le Photoresist i le fa'agasologaina o mamanu manifinifi i totonu o paneta fa'aaliga, matagaluega tu'ufa'atasi, ma masini semiconductor eseese. O le tekinolosi gaosiga i tua atu o le photoresist e lavelave, fa'atasi ai ma le tele o ituaiga oloa ma fa'amatalaga. O le gaosiga o matagaluega tu'ufa'atasi a le alamanuia eletise e fa'amalosia ai mana'oga malolosi i luga o le photoresist e fa'aaogāina.
O le Ever Ray, o se kamupani gaosi oloa e 20 tausaga o lona poto masani ma e fa'apitoa i le gaosiga ma le atina'eina o resins photocurable, e mitamita i le gafatia gaosiga faaletausaga e 20,000 tone, o se laina oloa atoatoa, ma le mafai ona fa'apitoa oloa. I le photoresist, o le Ever Ray e iai le 17501 resin o le vaega autu.
